没有线路负载效应的真正脉冲/瞬态测量解决方案

• 整合了任意波形生成和高速 IV 测量功能

• 利用是德科技独有的动态 SMU 技术，消除了线路负载效应，确保进行准确的脉冲 IV 测量

• 解决方案支持超快速 IV（电流-电压）测量、脉冲 IV 测量和瞬态 IV 测量，例如 NBTI/PBTI 和 RTN（随机电报信号噪声）测量等

测量功能

• 直流输出和任意波形生成，具有 10 ns 的可编程分辨率（10V 峰-峰值输出）

• 高速电压/电流测量（200 MSa/s，5ns 采样率）

• 任意波形输出的动态范围可以调整，实现更宽广的电流范围

• 双通道输出

是德科技最新设计的高速 SMU 技术可以摆脱线路负载效应的影响，进行更准确的脉冲和瞬态测量

超快速 IV、脉冲 IV 和瞬态 IV 测量正逐渐成为研发下一代半导体、器件和材料时的一项常见要求。Keysight B1500A 系列中的 Keysight B1530A 波形发生器/快速测量单元（WGFMU）是用于上述时间相关测量的理想测量模块。这些测量通常是由脉冲发生器和示波器共同完成，然而线路负载效应（剩余电阻导致的压降误差）会对测量准确性产生不利影响。B1530A WGFMU 结合了任意波形生成和同时执行高速测量的功能，而是德科技独有的动态 SMU 技术则可以消除线路负载效应，因此与基于脉冲发生器的解决方案相比，它可使用户执行更准确、更灵敏的测量。这个解决方案功能非常强大，十分适合执行高精度、超快速的 IV 测量、脉冲 IV 测量和瞬态 IV 测量，例如超快速 NBTI 和 RTN 测量。

动态范围调整功能可在更宽广的电流范围内，提供快速、准确的测量

另一个挑战是超快速 IV、脉冲 IV 和瞬态 IV 测量的灵敏度。脉冲底部和脉冲峰值之间的电流可能相差几个数量级，部分器件显示了应用波形之后阻抗出现了急剧变化。Keysight B1530A 能够指定任意点上的测量范围，在任意波形输出中该范围会发生显著变化。因此，可以采用更适合的测量范围和分辨率来实现精确测量。

即用型应用软件适用于先进的器件测试，包括 RTN（随机电报噪声）、超快速 NBTI/PBTI、脉冲 IV 和瞬态测量

B1530A WGFMU 拥有先进的测量功能，能够胜任传统测量仪器无法执行的测量任务。B1530A WGFMU 支持高速、高灵敏度的测量，可在不到 1 µs 的时间范围内进行器件表征。例如，它可在尖端应用中使用，进行超快速 NBTI/PBTI 和 RTN 测量。这些测量对于确保先进半导体的可靠性具有重要意义，但挑战性也非常高。Keysight B1500A 提供即用型应用软件，可立即开始执行这些高难度的测量。

使用 B1530A WGFMU 和 E4727E3 软件自动对晶圆执行 RTN 测量

E4727E3 软件可以结合使用 B1500A 与 B1530A WGFMU，自动对晶圆执行经济高效的 RTN 测量。它能够提升 RTN 测量和数据分析的效率，包括晶圆探头控制。